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MF-AO系列自動烘箱
    發(fā)布時間: 2023-06-28 10:43    

MF-AO系列自動烘箱是專門設(shè)計用半導(dǎo)體集成電路自動化生產(chǎn)線,與現(xiàn)場AGV,ROBOT等自動化配合,實現(xiàn)無人操作,安全生產(chǎn)。


MF-AO系列自動烘箱

用途特點:

本產(chǎn)烘箱品適用于半導(dǎo)體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝。

技術(shù)特點: 

自動化操作系統(tǒng)滿足現(xiàn)場無人操作的需求,自動開關(guān)門系統(tǒng)完全融入工廠自動化系統(tǒng)中,根據(jù)遠(yuǎn)程指令動作及反饋;

更加安全的烘箱,自動門狀態(tài)、動作聯(lián)鎖及多重保護措施,避免了系統(tǒng)間干涉出現(xiàn);

烘箱采用雙門設(shè)計,自動門實現(xiàn)自動生產(chǎn),手動門進行保養(yǎng)與應(yīng)急生產(chǎn)。采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面沾污;整體框架設(shè)計能與外部輸送設(shè)備機構(gòu)聯(lián)動,保證動作一致性

過程控制:

烘箱加熱采用多段式程序控制,完全滿足現(xiàn)場各種工藝需求;

工廠MES,CIM,EAP配套軟件使用,可實現(xiàn)烘箱溫度監(jiān)控,產(chǎn)品運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄。

設(shè)備特點:

可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔設(shè)計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

溫度均勻度依照GBT30435-2013;

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)

提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控;

提供相應(yīng)的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說明。

   

型號

MF-AO****W/A

1640

2640

循環(huán)系統(tǒng)

熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

性能參數(shù)

溫度范圍

RT. + 25°C~250°C

溫度波動范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結(jié)構(gòu)

烘箱外腔體選材

烤漆板、不銹鋼

烘箱內(nèi)腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷卻、風(fēng)冷卻、多段式冷卻

內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

640 *640* 1100

640 *640 * 550

外形尺寸W * H *D mm

1700 * 1100 * 1840

1800* 1100 * 2040

容積 (L)

160

450

使用環(huán)境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動力配置

電源配置

AC380 3PH

AC380 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

 

基本功能配置:


漏電保護器;

電磁門鎖;

加熱保險絲;

電源缺相保護;

超溫保護器;

低溫保護器;

加熱器防干燒保護;

馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測保護;

UPS;

壓縮空氣檢測;

N2流量檢測;

水流量檢測;

功能選配:

腔體氧含量在線檢測;

高低溫聯(lián)動檢測;

腔體壓力檢測;

自動排風(fēng)閥;

廢氣沉淀回收裝置;

腔體空燒排污;

腔體內(nèi)除塵過濾網(wǎng)裝置;










服務(wù)熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區(qū)春麗路1239號國際中小企業(yè)產(chǎn)業(yè)園   (二期) 3號樓
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