MF-PO系列無氧化壓力烘箱設(shè)計用來滿足半導(dǎo)體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進的設(shè)計理念與工藝技術(shù),可滿足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。
用途特點:
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝。用于去除半導(dǎo)體加工、LCD面板、PDP面板、觸摸屏等設(shè)備粘接過程中產(chǎn)生的小氣泡的設(shè)備。本設(shè)備采用壓力和加熱操作,精確的溫度和壓力控制來進行消泡操作,從而增強固化和附著力。
技術(shù)特點:
保證內(nèi)部流體的流動通過風(fēng)機,將風(fēng)機的壓力密封與磁性驅(qū)動制動器連接在一起,實現(xiàn)電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動,從而保證了壓力室溫度的均勻性;
多重壓力保護及安全裝置設(shè)計。
過程控制:
與配套AUTORECIPE軟件,溫度監(jiān)控軟件,可實現(xiàn)產(chǎn)品運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄,提高了生產(chǎn)效率控制產(chǎn)品品質(zhì)。
設(shè)備特點:
溫度均勻度依照GBT30435-2013;
設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準
提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復(fù)時間等工藝條件;
滿足SECS/GEM標準的半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控;
提供相應(yīng)的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;
配套完成的產(chǎn)品使用手冊及說明。
型號 | MF-PO**** | ||||
1600 | 1700 | 2600 | 2700 | ||
循環(huán)系統(tǒng) | 熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng) | ||||
性能參數(shù) | 溫度范圍 | RT. + 25°C ~250°C | |||
壓力范圍 | 0-16kg/cm2/0-8 kg/cm2 | ||||
溫度均勻性 | (0-100℃)<1℃(100-200℃)<2℃ | ||||
升溫時間 | < 30Min(175℃)& < 40Min(200℃) | ||||
烘箱結(jié)構(gòu) | 烘箱外腔體選材 | 烤漆、不銹鋼 | |||
烘箱內(nèi)腔體選材 | SUS304 | ||||
保溫材料 | 高密度陶瓷纖維棉 | ||||
加熱 | 不銹鋼加熱管 | ||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||
內(nèi)腔尺寸W *H *D (mm) | 370 *500* 335 | 490 *560 * 366 | 370 *500 *335 | 490*560* 366 | |
外形尺寸W * H *D (mm) | 1430 *2030 * 1650 | 1600* 2300 * 1750 | 1420 * 2050 * 1950 | 1600 * 2300* 1950 | |
容積 (L) | 60 | 90 | 120 | 180 | |
使用環(huán)境 | 溫度范圍: 小于 + 45°C 濕度范圍: 小于 75%rh | ||||
動力配置 | 電源配置 | AC380V3PH | AC380V3PH | AC380V3PH | AC380V3PH |
烘箱功率 | 12KVA | 12KVA | 22KVA | 22KVA |
基本功能配置:
漏電保護器;
加熱保險絲;
電源缺相保護;
超溫保護器;
低溫保護器;
加熱器防干燒保護;
馬達轉(zhuǎn)速檢測保護;
腔體排氧裝置;
腔體安全泄壓閥;
功能選配:
N2流量檢測;
高低溫聯(lián)動檢測;
腔體壓力檢測;
自動排風(fēng)閥;
廢氣沉淀回收裝置;
腔體空燒排污;
服務(wù)熱線:021-64307580