用途特點：

本產品適用于半導體特殊工藝加工，實驗室產品驗證等。該烘箱采用加熱循環(huán)方式，進行精確的溫度控制。

技術特點： 

多用途的腔體結構，有效的工作溫度范圍 至+500°C；

腔體與外箱之間不僅有高效的陶瓷纖維棉，而且還增加了反光鋁箔和鋁制空氣夾層，以減少內室的熱傳導。

過程控制：

多段式程序控制，完全滿足現場各種工藝需求；

與配套AUTORECIPE軟件，實時溫度監(jiān)控軟件，可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等，提高生產效率、控制產品品質。

設備特點：

可以提供各種標準和非標準腔體設計，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；

溫度均勻度依照GBT30435-2013；

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

提供高性價比的烤箱性能，溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復時間等工藝條件；

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口，工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控；

提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測；

配套完成的產品使用手冊及說明。

基本功能配置：

漏電保護器；

電磁門鎖；

加熱保險絲；

電源缺相保護；

超溫保護器；

低溫保護器；

加熱器防干燒保護；

馬達轉速檢測保護；

N2壓力檢測；

功能選配：

N2流量檢測；

高低溫聯動檢測；

自動排風閥；

廢氣沉淀回收裝置；