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MF-HO系列高溫烘箱
    發(fā)布時間: 2023-06-28 10:08    

MF-HO系列無氧高溫烘箱設備是專門設計用來滿足半導體集成電路行業(yè)相關產品的高溫烘烤需求

MF-HO系列高溫烘箱

用途特點:

本產品適用于半導體特殊工藝加工,實驗室產品驗證等。該烘箱采用加熱循環(huán)方式,進行精確的溫度控制。

技術特點: 

多用途的腔體結構,有效的工作溫度范圍 +500°C;

腔體與外箱之間不僅有高效的陶瓷纖維棉,而且還加了反光鋁箔和鋁制空氣夾層,以減少內室的熱傳導。

過程控制:

多段式程序控制,完全滿足現場各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度監(jiān)控軟件,可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產效率、控制產品品質

設備特點:

可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

溫度均勻度依照GBT30435-2013;

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復時間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控;

提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;

配套完成的產品使用手冊及說明。

 

型號

MF-HO****

1500

2500

2600

2700

循環(huán)系統

熱風循環(huán)系統

性能參數

溫度范圍

RT. + 25°C ~500°C

溫度波動范圍

200-300℃5300-400℃8

溫度均勻性

200-300℃<5300-400℃<8

升溫時間

< 40Min300℃&  < 60Min400℃

烘箱結構

烘箱外腔體選材

烤漆板、不銹鋼

烘箱內腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷、風冷、多段式冷卻

內腔尺寸W *H *D mm

500 *640* 500

500 *640 * 560

640*640 * 560

700 *640* 560

外形尺寸W * H *D mm

1190 * 900 * 1000

1300* 1050 * 1890

1300 * 1050 * 1900

1460 *1050 * 1900

容積 (L)

160

320

450

490

使用環(huán)境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動力配置

電源配置

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

烘箱功率

10KVA

20KVA

20KVA

20KVA

 

基本功能配置:

漏電保護器;

電磁門鎖;

加熱保險絲;

電源缺相保護;

超溫保護器;

低溫保護器;

加熱器防干燒保護;

馬達轉速檢測保護;

N2壓力檢測;

功能選配:

N2流量檢測;

高低溫聯動檢測;

自動排風閥;

廢氣沉淀回收裝置;










服務熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區(qū)春麗路1239號國際中小企業(yè)產業(yè)園   (二期) 3號樓
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