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MF-OVV系列無氧烘箱(垂直送風(fēng))
    發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:03    

MF-OVV系列烘箱設(shè)備是專門設(shè)計(jì)用來滿足半導(dǎo)體集成電路行業(yè)配套烘箱,它具有先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念與工藝技術(shù),可滿足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。


MF-OVV系列無氧烘箱(垂直送風(fēng))

用途特點(diǎn):

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體加工,該烘箱采用垂直熱循環(huán)方式,進(jìn)行精確的溫度控制。

技術(shù)特點(diǎn): 

采用垂直送風(fēng)系統(tǒng),垂直腔體模塊安裝在垂直腔體頂部,與傳統(tǒng)安裝方式相比,減少安裝空間20-60%。提高生產(chǎn)線生產(chǎn)效率,節(jié)省設(shè)備空間;

內(nèi)腔采用SUS304拉絲板,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運(yùn)行時(shí)的腔體內(nèi)清潔和預(yù)防了產(chǎn)品表面沾污;

內(nèi)門結(jié)構(gòu)后門為單結(jié)構(gòu),采用雙密封結(jié)構(gòu),防止熱量流失;

整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實(shí)現(xiàn)微調(diào);

大容積的設(shè)計(jì),由于改進(jìn)了隔斷和支撐板,可以同時(shí)承受更多的產(chǎn)品重量

優(yōu)異的熱工性能,使加熱性能大大提高,運(yùn)行時(shí)不會(huì)影響環(huán)境,室內(nèi)溫度保持不變。

過程控制:

多段式程序控制,完全滿足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控軟件,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設(shè)備特點(diǎn):

堅(jiān)持工藝優(yōu)先的設(shè)計(jì)原則,即先制定最為優(yōu)化的工藝配置,再確定設(shè)備結(jié)構(gòu)和布局,以確保工藝最穩(wěn)定,材料利用最合理,力求提升設(shè)備穩(wěn)定性和降低運(yùn)行成本;

本著人性化的設(shè)計(jì)理念,即在細(xì)節(jié)上充分考慮現(xiàn)場(chǎng)情況,并不斷完善設(shè)計(jì),使現(xiàn)場(chǎng)使用者更加方便地使用,維護(hù)本烘箱;

可以提供各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)腔設(shè)計(jì),包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

提供高性價(jià)比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、升溫速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件;

可定制層板,滿足承重與間距要求;

溫度均勻度依照GBT30435-2013;

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn);

滿足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控;

提供相應(yīng)的檢測(cè)報(bào)告,烘箱溫度校正報(bào)告、烘箱噪音檢測(cè)、烘箱表面SGS檢測(cè)等;

配套完整的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說明。

 

型號(hào)

MF-OVV****

1600

1640

1800

循環(huán)系統(tǒng)

熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

性能參數(shù)

溫度范圍

RT. + 25°C ~250°C

溫度波動(dòng)范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時(shí)間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結(jié)構(gòu)

烘箱外腔體選材

烤漆、不銹鋼

烘箱內(nèi)腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

風(fēng)冷、多段式冷卻

內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

600 *600* 1100

640 *640 * 1100

800 *800 * 1300

外形尺寸W * H *D mm

1030 * 950 * 1900

1030* 950 * 1900

1200 * 1100 * 2100

容積 (L)

360

450

830

使用環(huán)境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動(dòng)力配置

電源配置

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

烘箱功率

13KVA

13KVA

16KVA


基本功能配置:

電源缺相保護(hù);

漏電保護(hù)器;

電磁門鎖(氣缸門鎖);

過載保險(xiǎn)絲;

超溫保護(hù)器;

加熱器防干燒;

馬達(dá)轉(zhuǎn)速檢測(cè);

N2壓力檢測(cè);

N2過濾調(diào)壓閥;

選配功能:

在線氧含量檢測(cè);

N2流量檢測(cè);

高低溫表設(shè)定聯(lián)動(dòng);

腔體壓力檢測(cè);

自動(dòng)排風(fēng)裝置;

廢氣沉淀回收裝置;










服務(wù)熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區(qū)春麗路1239號(hào)國際中小企業(yè)產(chǎn)業(yè)園   (二期) 3號(hào)樓
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